| 三菱开发出10W深紫外激光器用于加工玻璃 |
| 发布时间：2007-05-24 09:24:11 信息来源：日经BP社 点击：3520次 |
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日本三菱电机开发出了输出功率增至10W的深紫外激光器，并在研发成果新闻发布会上进行了展示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输出功率达到了普通工业用水平10W，原产品的输出功率为5.6W。可实现高速加工所需的10kHz以上的脉冲激光。采用该激光器的加工设备的投产日期尚未确定，估计“大约5年后将会有这种需求”（该公司解说员）。
由于深紫外激光的波长短，适合于形成直径为10～20μm的微孔等微细加工。除用于玻璃加工外，还可用于印刷电路板的微细加工。在加工印刷电路板等的树脂时，采用转换为树脂可吸收的355nm波长的激光。目前，印刷电路板的打孔加工主要采用CO2激光。但由于这种激光的波长长达10μm，可加工的孔径最低限度为50μm。
此次的深紫外激光器使用波长为1064nm、输出功率300W的红外激光光源，采用非线性光学晶体硼酸铯锂（CLBO），把波长转换为213nm。首先把1064nm的红外激光转换为532nm，然后再转换为266nm的紫外激光，最后转换为213nm的深紫外激光。为提高此次激光的输出功率，减少了向紫外和深紫外激光转换波长的CLBO晶体中的杂质。原来采用的晶体，当输出功率为5.6W时，就达到了饱和。其原因是激光被晶体中的杂质吸收、生热，晶体开始产生偏差。此次采用的CLBO晶体由大阪大学开发。
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