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[供应] 等离子去光阻机
所属分类：机械配件 -> 清洗刷
产品型号：GDR-60G
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点击次数：606次
该信息于2013-03-19发布，在2013-09-18前有效
       
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详细说明

采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。 

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