1. 金属靶材：
镍靶Ni、钛靶Ti、锌靶Zn、铬靶Cr、镁靶Mg、铌靶Nb、锡靶Sn、铝靶Al、铟靶In、铁靶Fe、锆铝靶ZrAl、钛铝靶TiAl、锆靶Zr、铝硅靶AlSi、硅靶Si、铜靶Cr、钽靶Ta、锗靶Ge、银靶Ag、钴靶Co、金靶Au、钆靶Gd、镧靶La、钇靶Y、铈靶Ce、钨靶w、不锈钢靶、镍铬靶NiCr、铪靶Hf、钼靶Mo、铁镍靶FeNi、钨靶W等

2. 陶瓷靶材：
ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、氧化铝靶、硫化锌靶、硫化锌二氧化硅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、氧化铌靶、二氧化钛靶、五氧化二钽，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、三氧化二铝靶、二氧化铪靶、靶材等。