设备型号：VTT900
真空室有效尺寸（即热沉的有效尺寸）：Φ900mm×1000mm；
极限真空度：冷态空载真空度（-50℃）≤5×10-5Pa；
系统漏率：不大于5×10-6Pa。M3/S
系统热沉温度：-50℃~+100℃
温度控制精度：优于±0.5℃；
热沉上的温度不均匀性：≦3℃；
无油真空系统；
测温传感器：18点温度传感器
控制系统：计算机控制系统
制冷加热一体机：德国进口
真空系统：进口无油真空泵组
 地址：北京市海淀区丰慧中路7号新材料创业大厦807
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