JCL-SZP全数字大功率中频电源

主要用途
JCL-SZP全数字化中频磁控溅射电源适用于中频孪生靶磁控溅射金属和非金属材料。本电源能增加离化率，减小电荷积累，预防靶表面中毒现象。特别适用于反应磁控溅射镀制ITO膜、介质膜、绝缘保护膜、LOW-E磁控溅射镀膜vwin平台怎么样 、阳光控制膜镀膜vwin平台怎么样 。
主要特点
1、  采用高频转换技术，高效节能、反应迅速，双级脉冲方波输出，占空比10%—80%连续可调，脉冲频率 20—40KHZ，具有恒压、恒流、恒功率工作模式，适应各类特殊工艺要求，可实现双靶溅射，具有优异的灭弧性能。
2、  数字化控制、精度高、重复性好；配有控制面板和控制程序，根据工艺要求设定工艺参数实现近地控制和远程控制（配有通讯接口）。
3、  电源功率：20KW 30KW 60KW 80KW 100KW 120KW
主要型号
型号  功率  空载电压  工作电压  工作电流  工作方式  冷却方式  外形尺寸
JCL-ZP20  20KW  ≥1000V  200-800V  25A  



恒压
恒流
恒功率  风冷  19英寸标准7U机箱
JCL-ZP40  40KW  ≥1000V  200-800V  50A    水冷  19英寸标准1.2m机箱
JCL-ZP60  60KW  ≥1000V  200-800V  75A    水冷  19英寸标准1.6m机箱
JCL-ZP80  80KW  ≥1000V  200-800V  100A    水冷  19英寸标准1.8m机箱
JCL-ZP100  100KW  ≥1000V  200-800V  125A    水冷  19英寸标准1.8m机箱
JCL-ZP120  120KW  ≥1000V  200-800V  150A    水冷  19英寸标准1.8m机箱
备注：最大平均工作电流在占空比80%（最大）时输出