一、用途:用于微波管等电真空器件的排气工艺。二、设备主要技术指标外真空室真空度:优于10Pa;内真空室真空度:优于3X10-7Pa;真空管道≥φ50mm,设有自动控温烘烤(200℃);外真空室设有自动烘烤系统(550℃~650℃);外真空室内径400mm,高600mm,每个底法兰设有九个陶瓷绝缘接线柱(10V,5A);升降高度500mm,升起后烘箱可摆动;台面高700mm;两烘箱各自配有液压升降装置。总出水设缺水报警;配1.8米机柜两个;