金属靶材有：锆 Zr、铬 Cr、钛 Ti、铝 Al、锡 Sn、锑 Sb、硼 B、钴 Co、铜 Cu、石墨 C、锰 Mn、硅 Si、钽 Ta、钨 W、钒 V、锌 Zn、镁 Mg、铌 Nb、钼 Mo、镍 Ni、不锈钢靶材等…
合金靶材有： 钛铝Ti-Al、钛铬Ti-Cr、钛锆Ti-Zr、铝硅Al-Si、铬硅Cr-Si、锌铝Zn-Al 等…
陶瓷靶材有：单晶硅、多晶硅、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、氧化镁靶MgO、三氧化二钇靶Y2O3、氮化硅靶SiN、氧化铬靶CrO、氧化锌铝靶ZAO、氧化铝靶AlO、二氧化锆靶ZrO2、氧化铌靶NbO、五氧化二钽靶Ta2O5、五氧化二铌靶Nb2O5等……
光学镀膜材料有：一氧化硅 SiO、一氧化钛 TiO、三氧化二钇Y2O3、三氧化二铝 Al2O3、二氧化钛 TiO2、二氧化铪 HfO2、五氧化二钽 Ta2O5等……

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