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       东莞汇成真空科技有限公司是一家专门从事各种真空应用设备类的研发、生产和销售为一体的民营高科技企业。 <br>公司目前拥有员工130余人,其中高、中级以上技术人员35人,公司还聘请了国内真空待业资深......

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多弧离子镀膜设备
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磁控/蒸发两用镀膜设备
 
五金刀具真空镀膜
所属分类:玻璃机械 -> 镀膜玻璃vwin平台怎么样
产品型号:JTL系列多弧离子镀
生产单位:汇成真空
产品价格:
产品规格:
包装方式:
运输方式:
更新日期:2009-07-17 点击次数:691
 

多功能离子镀膜设备:
该系列设备主要是(集)直流磁控溅射,中频溅射和电弧电子蒸发三种技术融合一体,结合线性离化脉冲偏压可使沉积颗料细化,膜层各项性能提高,能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。经公司技术人员多年专注研发,通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统,并开发出整套PROPOWER系列计算机自动控制系统,使镀膜膜层附着力致密度、从复度一致性好等特点,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。镀制Tin、TiCN、CrN、TiALN、TiCrN、ZrN、TiNC及各类金属石膜(DLC)。
1、          磁控溅射的原理是基于阴极辉光放电理论,把阴极表面磁场扩展到接近工件表面,提高了溅射原子离化率。既保留磁控溅射的细腻又增强了表面光泽度。
2、          电弧等离子体蒸发源性能可靠,在优化阴极及磁场结构镀膜时可在30A电流下工作,镀膜膜层和基底界面产生原子扩散,又具有离子束辅助沉积的特点。
                 型号真空室尺寸 JTZ-800 JTL-1000 JTL-1250 
¢800×1000MM ¢1000×1000MM ¢1250×1100MM 
镀膜方式及主要配置 六个多弧源+一套圆柱靶+一套平面矩形磁控溅射靶 八个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+一套平面矩形磁控溅射靶 十二个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+两套平面矩形磁控溅射靶 
镀膜方式及主要配置 电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源 
工艺气体控制 质量流量计+电磁陶瓷阀 
真空室结构 立式侧(单)开门结构,后置抽气系统,双层水冷 
真空系统组成 分子泵+罗茨泵+机械泵(5.0×10-4PA) 
工件烘烤温度 常温到500度可调可控(PID控温),辐射加热 
工件运动方式 公自转变频调速,0~20转/分 
测量方式 数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA 
控制方式 手动/自动/PC/PLC+HMI/PC四种方式可选 
备注 以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做 

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