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PEV-1压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合,主要应用领域包括:磁控溅射,光学镀膜,太阳能电池,ITO,等离子体刻蚀等。 PEV-1压电阀主要技术特点: 1、控制模式:开环控制和闭环控制 2、易于集成:可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪 3、响应时间快 4、性能稳定,压电陶瓷片寿命长 5、无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点 技术参数: 流量:0¬—500 scmm 响应时间:2 毫秒 漏率:1*10-9sml/sec 电压:0—100VCD 温度范围:10摄氏度至60摄氏度 最大入口压强:50PSI