自动砂轮划片机主要应用于集成电路、发光二极管、二极管、三极管、太阳能电池、热敏电阻、传感器、玻璃及陶瓷划切加工等行业。
特点:
整体布局更趋合理,控制系统全面优化;切割效率高、精度高、可靠性好、稳定性强。
1. Y轴采用进口高精度光栅尺闭环控制。
2. Z轴重复定位准确,切割深度可补偿。
3. 采用工控机控制,状态实时监控可靠性高。
4. 卤素灯+光纤传导照明,图像清晰,对准方便。
5. Windows软件运行平台,人机界面友好,多套工艺方案可编程,操作方便简单。
说明:
1. 可加工基片直径:Φ≤170mm
2. 加工晶圆厚度范围:100um~4mm
3. 压缩空气:0.55Mpa,300L/min
4. 冷却水:0.3 Mpa,2.0L/min
5. 人机界面及相应功能,可以根据顾客要求进行定制