半导体RCA湿式8寸硅晶圆清洗机:清洗机设备主要功能部件有:箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给(排)水管路、抽风系统和电气控制系统等。采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷.13910297918