多功能立式组合石英钟罩清洗设备:本设备为立式单工位,用于石英钟罩及石英器皿的清洗,通过PLC控制相应的泵、阀,石英钟罩转动、进行喷酸(石英钟罩内、外壁)、自动卸酸、DIW高压喷射(同时石英钟罩转动)、电阻率(DIW出口)自动监测、氮气吹干以保证石英钟罩及石英器皿上油污、颗粒、杂质的彻底清除13910297918