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PSS衬底(SPM)清洗机
所属分类:玻璃机械 -> 清洗机
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更新日期:2013-06-24 点击次数:985
 

 PSS衬底(SPM)清洗机
产能要求: GaN工艺 150000片/月和PSS工艺 105000片/月,共计255000片/月(设计机台GaN工艺和PSS工艺各有1道,按照25分钟/run,50片/run。产能共计270000片/月,按照22小时/天, 26天/月计算)满足要求 ;
药液种类:超声波:去光阻液或ITO溶液;511溶液(H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1);稀HCl溶液(HCl:H2O=1:5) ;

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