北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB)是一家极具行业经验和国际水准的科技公司。多年来,一直专注于为微电子集电路、半导体材料、半导体照明LED、有机发光二级管OLED、电力电子器件、分立器件、微机电系统MEMS、......
PSS衬底(SPM)清洗机产能要求: GaN工艺 150000片/月和PSS工艺 105000片/月,共计255000片/月(设计机台GaN工艺和PSS工艺各有1道,按照25分钟/run,50片/run。产能共计270000片/月,按照22小时/天, 26天/月计算)满足要求 ;药液种类:超声波:去光阻液或ITO溶液;511溶液(H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1);稀HCl溶液(HCl:H2O=1:5) ;