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显影清洗机适用对象:硅片 、蓝宝石基片,2-12inch,2-4 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;适用产业:半导体照明(LED)、半导体材料、半导体分立器件、集成电路、MEMS、有机发光二级管(OLED)等;控制模式:手动控制模式、自动控制模式;制程应用:湿法清洗显影制程;