蓝宝石抛光垫
SH-Q20抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、蓝宝石、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯MonoCrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。 物性说明: 品名 (ARTICLE NO): SH-Q20 用途 (FOR USES) : CMP *粗研磨用 物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES ) 项目 重量 厚度 密度 压缩率 弹性率 硬度 绒长 开口径 单位 g/m2 mm g/m3 % % Asker C μm μm 测定值 645 2.0 0.54 0.97 63 96 -- -- TEST METHOD JIS- K6328 JIS- K6328 JIS- K6328 JIS- L1096 JIS- L1096 JIS- K6301 OWN METHOD (物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)(The above is not standard, but measured figures.)产品特点: v 能提高研磨效率,研磨面的表面状态如均匀的毛玻璃状态; v 采用高硬度的不织布,使用寿命长; v 可以用来金属的研磨,并可以使用研磨砂,有相应实绩; v 可以根据用户要求开槽。 同比市面上较多的罗门哈斯SUBA系列抛光布具有以下优点: v 抛光寿命更长 v 价格更加低廉 v 性能与SUBA系列持平
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