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石英管清洗机
所属分类:其他
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更新日期:2008-04-14 点击次数:771
 

半导体器件设备-立式石英管清洗机
型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB本设备为立式单工位,用于石英钟罩及石英器皿的清洗,通过PLC控制相应的泵、阀,石英钟罩转动、进行喷酸(石英钟罩内、外壁)、自动卸酸、DIW高压喷射(同时石英钟罩转动)、电阻率(DIW出口)自动监测、氮气吹干以保证石英钟罩及石英器皿上油污、颗粒、杂质的彻底清除有

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