半导体器件设备-立式石英管清洗机
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB本设备为立式单工位，用于石英钟罩及石英器皿的清洗，通过PLC控制相应的泵、阀，石英钟罩转动、进行喷酸（石英钟罩内、外壁）、自动卸酸、DIW高压喷射（同时石英钟罩转动）、电阻率(DIW出口)自动监测、氮气吹干以保证石英钟罩及石英器皿上油污、颗粒、杂质的彻底清除有