1、英文名称:VON ARDENNE WM 60 HCM INLINE-SPUTTERANLAGE
2、中文名称:冯阿登纳真空溅射镀膜流水线
3、产地:德国
4、规格:WM 60
5、功能:适合玻璃连续镀膜,如太阳能、LOW-E、装饰性膜层,另可以使用于压克力,不锈钢板,特殊材料表面处理等。
6、简要介绍:
6.1、主体结构:7组真空箱体,连续式
6.2、真空泵组:分子泵、高真空系统
6.3、溅射部分:4个阴极溅射
6.4、工件尺寸:1200*600
6.5、配套设施:外围所需配套齐备
6.6、控制方式:全自动过程及工艺控制