光伏薄膜铝背电极vwin平台怎么样 -Al膜vwin平台怎么样
该系统专门针对光伏太阳能所需要的铝电极镀膜设计，分为7个真空室：进料室、辉光清洗室、过渡室、溅射室1+溅射室2、传输室、缓冲室、出料室。系统整体设计严格，采用分子泵高真空机组，可配备高溅射效率的平面靶或旋转靶，采用直流溅射或中频溅射，可以高效率的溅射AL膜、ITO膜、SIO2膜、银膜、铬膜、TiO膜等。
设备主要技术参数：
真空连续式镀膜流水线配置表
序号  项目  规格及说明
1  设备主体  　
1.1  外形尺寸  12.6m*2.4*1.6m（长*宽*高）
1.2  整体重量  17吨
2  传输部分  　
2.1  工件盘尺寸  1210*600mm
2.2  驱动电机  LENZE MDSKSRS036-13
3  真空系统  　
3.1  K1 进料室泵组  PAC250+WKP500A
3.2  K2 清洗室泵组  DUO65+TMH1001
3.3  K3 传输室泵组  TMH1001
3.4  K4-1 镀膜室泵组  TMH1001+TMH521 
3.5  K4-2 镀膜室泵组  TMH1001+TMH521 
3.6  K5 传输室泵组  TMH1001 PAC90+WKP500A   DUO6
3.7  K6 过渡室泵组  DUO65+TMH1001
3.8  K7 出料室泵组  PAC250+WKP500A
3.9  冷凝泵  POLYCOLD PFC-1102HC
4  真空压力检测  　
4.1  皮拉尼规  TPR 265
4.2  全量程检测真空计  PKR251
4.3  过程压力测量  MKS Baratron627B 
4.4  压力安全开关  PN3009
5  气流控制系统  　
5.1  气流量控制器  MKS 2179A
6  溅射系统及电源  　
6.1  辉光清洗电源  霍庭格 TIE 10/100P 
6.2  溅射电源  霍庭格 TIG DCS30
6.3  清洗电极尺寸  580*160
6.4  阴极溅射靶尺寸  900*240
7  自动化控制系统  　
7.1  上位机  SEMITIC PANEL PC670 
7.2  可编程控制器  西门子 PROFIBUS 网络 S-318CPU
8  外围配置及要求  　
8.1  电源输入要求  380V 240KW 
8.2  冷水机  K-2-38/5-2
8.3  压缩空气  压力6-7BAR 2-3立方/小时
8.4  氮气  25立方/小时
8.5  氩气  120L/小时
8.6  环境要求  15-35度 湿度〈70%
8.7  设备噪音指数  〈70分贝